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Instec
来自液晶先驱院校美国科罗拉多大学的精密温控装置与液晶检测设夆/span>
功能特点 |
可编程精密控温。可独立控制，也可从上位机软件控刵/span> |
超低的盘面温度梯?/span> |
独立的上盘面真空吸气槽，用于吸附固定多种尺寸晶圆 |
尺寸超薄，可集成进探针台 |
适用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圆 |
软件可拓展性强，可提供LabView等语言皃span>SDK |
#升级顸span>#性能可升级，详见配置列表 |
#选择顸span>#台面为电接地/电悬穹/span> |
#可选项#台面开设用于起模顶杆的孔洞，可快速卸下样?/span> |
#可选项#下盘面的真空吸气槽，用于将卡盘固定在实验平台三/span> |
可做改动或定制，详询上海恒商 |
技术参?/span> |
||
這/span> ?/span> 叁/span> ?/span> |
温度分辨玆/span> |
0.001ℂ/span> |
温度稳定?/span> |
0.05ℂspan>(at 100ℂspan>)可提升稳定?/span> |
|
温度均匀?/span> |
0.1ℂspan>/cm可升级均匀?/span> |
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*小控温速度 |
0.1ℂspan>/小时 |
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温度传感?/span> |
100铂质RTD |
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温控方式 |
开关式PID可升级为LVDC弎span>PID |
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*其他技术参数请参耂/span>常用型号选型?/span> |
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配置列表 |
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栆/span> 凅/span> |
温控晶圆夹盘（圆形） |
逈span>1 |
mK2000温度控制软件免费，控制线有多种接口供逈/span> |
∙/span> |
|
卆/span> ?/span> |
BNC同轴接口升级丹/span>Triaxial三同轴接叢/span> 三同轴的漏电流和电噪声更小，可测皮安级微弱信叶/span> |
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逈/span> 酌/span> 仵/span> |
液氮制冷系统包含液氮泵与液氮罐，使样品降至负?/span> |
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外壳水冷配件用常温水或冰水循环防止外壳过?/span> |
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固定支架把夹盘固定在使用平台上，防止滑动 |
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温控联动显微镜相温度-图像联动工作，附软件 |
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线性可变直流电溏span>(LVDC)装在温控器里，抑制电噪音 |
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*注：产品有多种配置变化，详询上海恒商 |
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常用型号选型?/span> |
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型号(字母T表示三轴接口) |
盘面尺寸 |
适用样品尺寸 |
温度范围 |
**制热速度 |
HCC206R/HCC206RT |
150 mm |
12 mm｝span> 152 mm |
-100｝span> 200ℂ/span> |
+60?分钟(at 100ℂspan>) |
HCC306R/HCC306RT |
-100｝span> 310ℂ/span> |
|||
HCC208R/HCC208RT |
200 mm |
40 mm｝span> 203 mm |
-80｝span> 200ℂ/span> |
+50?分钟(at 100ℂspan>) |
HCC308R/HCC308RT |
-80ℂ/span> ｝span> 310ℂ/span> |
|||
HCC20CR/HCC20CRT |
300 mm |
95 mm｝span> 304 mm |
-60｝span> 200ℂ/span> |
+30?分钟(at 100ℂspan>) |
HCC30CR/HCC30CRT |
-60｝span> 310ℂ/span> |
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*注：液氮泵型号不同，制冷表现也会有差异，请悉知、/span> 夹盘上下表面的独立真空吸气槽(可逈span>);支持Swagelok接口(可逈span>);支持顶杆孓/span>(可逈span>);制冷需液氮 |
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