功能特点

可编程精密控温。可独立控制，也可从上位机软件控刵�/span>

帕尔贴原理温控，使用时无需耗材

适用**100 mm尺寸晶圆

超低的盘面温度梯�?/span>

独立的上盘面真空吸气槽，用于吸附固定多种尺寸晶圆

尺寸超薄，可集成进探针台

可快速装载晶圆的凸起结构台面

软件可拓展性强，可提供LabView等语言皃�span>SDK

#升级顸�span>#性能可升级，详见配置列表

可做改动或定制，详询上海恒商

技术参�?/span>

這�/span>

�?/span>

叁�/span>

�?/span>

温度分辨玆�/span>

0.001ℂ�/span>

温度稳定�?/span>

��0.05ℂ�span>(at 100ℂ�span>)可提升稳定�?/span>

温度均匀�?/span>

��0.1ℂ�span>/cm可升级均匀�?/span>

*小控温速度

��0.1ℂ�span>/小时

温度传感�?/span>

100��铂质RTD

温控方式

直流弎�span>PID (变直流形弎�span>(LVDC)输出)

*其他技术参数请参耂�/span>型号规格�?/span>

配置列表

栆�/span>

凅�/span>

TC102S温控晶圆夹盘

逈�span>1

TC104S温控晶圆夹盘

mK2000温度控制�软件免费，控制线有多种接口供逈�/span>

∙�/span>

外壳水冷配件用常温水或冰水循环防止外壳过�?/span>

∙�/span>

卆�/span>

�?/span>

提升热台�?*温度

逈�/span>

酌�/span>

固定支架把夹盘固定在使用平台上，防止滑动

温控联动显微镜相�温度-图像联动工作，附软件

*注：产品有多种配置变化，详询上海恒商

型号规格�?/span>

型号

盘面尺寸

适用样品尺寸

温度范围

**制热速度

TC102S

40 mm

8 mm ~ 40 mm

-25��90�可提升温度范図�/span>

+30�?分钟(at 37ℂ�span>)

TC104S

40 mm

8 mm ~ 100 mm

-25��90�可提升温度范図�/span>

+30� /分钟(at 37ℂ�span>)