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Automegasamdri-936 Series C
产品特点９/strong>
新配置的专用“慢充”控制，给样品腔体提供理想的二氧化碳流体动力学，保护了大多数易脆样品：/span>
◅/span> 外部配置了PURGE后的过滤装置，保护样品，容易更换和后期维护；
◅/span> 采用?***的“Vortex Swirl”非机械搅拌，使PURGE完全而不至于破坏样品：/span>
◅/span> 高效内部封闭冷却循环系统，可以快速冷却腔体温度，缩短操作时间：/span>
◅/span> 内置SOTER冷凝器，分离废弃乙醇和废气，消除排气噪音：/span>
◅/span> 独特的样品室填块，可以改变样品室直径，减少液态二氧化碳的消耗量和处理时间，并兼容不同尺寸晶圆的处理：/span>
◅/span> 内部过滤系统，过滤流进样品室的液态二氧化碳，过滤颗粒*低尺寸达?.08m：/span>
◅/span> 一次运行可以处??英寸晶圆，改变样品室尺寸，每次运行也可以分别处理4英寸?英寸?英寸晶圆?0mm方晶：/span>
◅/span> 标配特氟龙兼容的6英寸?英寸?英寸?英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架各1个；
◅/span> 垂直样品室，内腔有照明，样品室盖子带观察窗；
◅/span> 明亮的LCD触屏控制：/span>
◅/span> 内置出厂自动运行程序并可创建和保存个性化程序：/span>
◅/span> 所有内部表面适用于CO2，丙酮和超纯乙醇：/span>
◅/span> 可以重复设置的参数，确保结果的可重复性；
◅/span> 集成自动控温和静态压力控制模块，确保自动安全的运行；
◅/span> 洁净室和防静电兼容设计；
◅/span> 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准：/span>
产品规格９/strong>
◅/span> 外部尺寸：宽19.8 (50.3 cm) ?1.7 (80.6 cm) ?4.5 (113.0cm)：/span>
◅/span> 安装占地尺寸：宽27 (68.6 cm) ?8 (96.5 cm)：/span>
◅/span> 样品室尺寸：内径6.5 ?.25”，样品室容积：679 ml;
◅/span> LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型计量阀门来控制：/span>
◅/span> 120V/50-60HZ(可选其他电?：/span>
◅/span> 高压不锈钢LCO2管（内衬Teflon 3 米长：/span>
◅/span> 双T型过滤装置，双重过滤微小颗粒，过滤装置可预先与LCO2管连接，安装方便：/span>
◅/span> 安装工具：/span>
◅/span> 防静电排气管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气：/span>
◅/span> 样品室O型圈3个，样品室LED照明?个，3A?A保险丝各2个；
◅/span> 4个Teflon样品室填块，使得样品室直径包?????.25英寸;
◅/span> 直径????英寸晶圆样品架和边长?0 mm方晶样品架各1个，样品架HF兼容：/span>
◅/span> 用户手册：/span>
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移动?/p>
工商已核宝/p>
