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日本分光制的椭圆计配有日本分?*产的PEM双重锁定方式和光伺服?光参考方式，实现高速性和高安定性、/span>由于偏光素子的轴配置适合特别薄的膜和微小的偏光测量，所以主要用于向高集积化和高精细化发展的半导体及高机能光学薄膜等材料的评价、/span>
◅/span>规格
型号 |
M-210 |
M-220 |
M-230 |
M-240 |
M-550 |
ELC-300 |
测量方法 |
PEM双重锁定方式、光伺服/先/span>参照控制方式 |
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分光?/span> |
- |
双单色器自动波长驱动装置 |
双单色器 ＇/span>260｝/span>900nm（/span>单单色器 ＇/span>900｝/span>1700nm（/span>自动波长驱动装置 |
单单色器自动泡/span>镾/span>驱动装置 |
双单色器自动波长驱动装置 |
|
测量波长 |
He-Ne激先/span>(632.8nm) |
He-Ne激先/span>(632.8nm) Xe光源(260｝/span>860nm) |
He-Ne激先/span>(632.8nm) Xe光源 (240｝/span>700nm) |
He-Ne激先/span>(632.8nm) Xe光源 (26｝/span>900nm)卤素?/span> (900｝/span>1700nm) |
Xe光源(350｝/span>800nm) |
He-Ne激先/span>(632.8nm) Xe光源(260｝/span>860nm) |
入射 角范図/span> |
40゜～90゛/span>连续自动设定＇/span>0.01゛/span>间隔（/span> |
45゜～90゛/span>连续自动设定＇/span>0.01゛/span>间隔（/span> |
40゜～90゛/span>连续自动设定＇/span>0.01゛/span>间隔（/span> |
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膜厚测量范围 |
0｝/span>99999? |
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测量时间 |
1msec以上 |
20sec｝/span>16sec |
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测量准确?/span>* |
屈折率 0.01 |
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膜厚 1? |
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消衰係数 0.01 |
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*准确度是挆/span>测量时间100msec以上。另外、根据表面状?/span>、膜质不同准确度也不吋/span>、/span> |
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样品宣/span> |
样品垂直攽/span> |
样品水平攽/span> |
样品垂直攽/span> |
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检测器 |
检光子＇/span>Glan-Taylor棱镜（/span>紫外?/span>见区埞/span>：光甴/span>子倍増管 运/span>红外区域９/span>InGaAs-PIN先/span>电二极管＇/span>M-240（/span> |
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移动?/p>
工商已核宝/p>
