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▻/span>概要美国国家标准技术研究所＇/span>National Institute of Standards and Technology（/span>NIST叐/span>表了CaF2等的氟化物双折射对于实现光刻的高解像度是很大的障碌/span>、/span>?/span>?/span>虽然确立亅/span>补偿方法，克朌/span>这种问题，但?/span>为验证这个方法是否可行，需要用到在真空紫外泡/span>长区域具月/span>高灵敏度的双折射讠/span>、/span>本装置是日本分光多年?/span>积累的偏光测定技术在真空紫外领域的扩展，高灵敏度双折尃/span>浊/span>量的解决方案、/span>根据偏光变调法，在真空紫外波长区埞/span>迚/span>行氟化物等的双折尃/span>浊/span>量、/span>丹/span>排除氧以及水的吸收所有的光路都进行氮气吹扫、/span>
◅/span>规格
▻/span>BRV-100
BRV-100 |
|
泡/span>长范図/span> |
140nm｝/span>320nm |
光刻灵敏?/span> |
0.05nm＇/span>157nm（/span> |
稳定?/span> |
1count．/span>h＇/span>157nm（/span> |
检浊/span>下限 |
0.17 nm＇/span>157nm（/span> |
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
