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XY扫描?/strong>
闭环控制式单模块柔性XY扫描器、/p>
扫描范围: 50 m 50 m (可 100 m100 m 10 m10 m )
Z扫描?/span>
柔性引导高力度扫描?/p>
扫描范围: 12 m (可 25 m)
样品?/span>
XY台工作范図 13 13 mm
Z台工作范図 29.5 mm
聚焦台工作范図 70 mm
光学系统
可观察样品和探针的直视同轴光学系绞/p>
10X 物镜 (可?0X（/p>
视场: 480 360 m
CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 m（/p>
电路系统
高性能DSP : 600 MHz with 4800 MIPS
**图像尺寸: 4096 x 4096像素 16个数据图僎/span>
信号输入 ?00kHz取样时， 16位ADC?0个通道
信号输出 ?00kHz取样时， 16位ADC?1个通道
同步信号 ：图像结束， 线结束及像素结束TTL信号
主动Q控制(选配)
悬臂梁弹性常数校?选配)
CE Compliant
电源 : 120 W
信号处理模块 (选配)
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