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CIF扫描电镜等离子清洗机
CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗朹/span>采用远程、原佌/span>双等离子清洗源设计，并可自动切换，一机多?/span>、/span>远程等离子体清洗快速高敇/span>低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗、/span>主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗、/span>
产品特点
u双等离子清洗溏/span>
u一机多?/span>
u高效低损伣/span>
技术参?/span>
产品型号 |
CIF-SEM |
法兰接口 |
KF40 |
工作气压 |
0.3-3Pa |
等离子电溏/span> |
13.56MHz射频电源，射频功?-100W可调，自动匹配器 |
气体控制 |
标配双路50毫升/刅/span>气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影哌/span> |
气源选择 |
根据需汁/span>氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 |
美国MKS公司925-12010皮拉尻/span>真空计， 测量范围1E-5Torr |
真空保证 |
真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 |
7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源/功率 |
220V?0/60Hz＋/span>300W |
可选配仵/span> |
可选氧气、氮气、氢气发生器 氢气纯度?9.999％，输出流量0-300ml/min |
质量保证 |
二年质保，终身维抣/span> |
暂无数据
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