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CIF透射电镜样品杆清洖/span>朹/span>
CIF透射电镜'/span>TEM(/span>样品杆清洖/span>机采?/span>双等离子清洗源设计,自动切换,一机多?/span>+/span>清洗快速高敇/span>、/span>远程等离子体清洗快速高敇/span>低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗、/span>主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途、/span>
产品特点
u双等离子清洗溏/span>
u一机多?/span>
u快速高效低损伤
技术参?/span>
产品型号 |
CIF-TEM |
真空泴/span> |
Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泴/span> |
入口压力1.0个大气压?psig(/span>+/span>出口压力1.4个大气压?.5psig(/span> |
|
抽?0L/min+/span>极限真空3.3 x 10-1mbar |
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KF16入口接口 |
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等离子电溏/span> |
13.56MHz等离孏/span>射频电源+/span>射频功率5-100W可调 |
两种等离子体清洗源,原位等离子源和远程等离子溏/span>+/span>自动匹配?/span> |
|
清洗宣/span> |
清洗室尺寷/span>(长X宽X髗/span>)150X150X150mm |
清洗数量 |
可同时清?支TEM样品杅/span> |
适配品牌 |
THERMO FISHER(FEI)、日立HITACHI?span>捷欧?/span>JEOL |
气体控制 |
标配友/span>?/span>50毫升/刅/span>气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影哌/span> |
气源选择 |
根据需汁/span>氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 |
美国MKS公司925-12010皮拉尻/span>真空计,测量范围1E-5Torr |
真空保证 |
真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 |
7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面 |
电源 |
220V?0/60Hz+/span>300W |
质量保证 |
二年质保,终身维抣/span> |
暂无数据