德国SPS-EUROPE匀胶机

品概�?/span>

德国SPS-EUROPE公司匀胶机具有转速稳定，启动快速，涂胶一致性和均匀性好等特点，广泛应用于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺制版表面涂覆、�/span>

工作原理

匀胶机＇�/span>spin coater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，匀胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关、�/span>

独有特征

u可编程全尺寸彩色触摸屏控制器，可拆卸，耐化学试剂腐蚀。速度、加速和时间可编程；无限量程序存储空间，可存储旋涂多步骤工作协议，具有协议密保功能、�/span>

u可编程转速范図�/span>: 1rpm-12�?00rpm，转速参数设置范围广，高精确性旋转速度 (�� 0.1 rpm)、�/span>

u数字电机控制，带增速数字显示信号反馈，以避免转速过量，从而提升涂膜的品质、�/span>

u防静甴�/span>PET透明衬套，杜绝工作仓室的交叉污染、�/span>

u一体化结构设计，壳体采�?/span>��-聚丙�?/span>(NPP-H)材质，传动系统采用工程塑料材质，寿命长耐腐蚀、�/span>

u采用经过热处理透明玻璃盖。玻璃盖带弹簧可自动将盖子固定在理想位置，玻璃盖上带注射器固定架和氮气扩散器，注射器固定架以固定的位移距离和位置注入抗蚀剁�/span>/化学试剂，氮气扩散器在旋涂过程可注入到工作舱氮气/氩气，工作舱环境可控、�/span>

u安全互锁装置：工作舱盖锁止，舱盖打开旋转自动停止，真空不足或没有真空旋转自动停止，过载保护、�/span>

uUSB端口：可上传和下载旋涂协议和软件、�/span>

u三个外接控制端口，可用于接入注入单元自动控制，氮气扩散器控制等、�/span>

u产品通过CE认证、�/span>

技术参�?/span>

型号	SPN150i	SPN200i
控制方式	全彩触摸屏控制界靡�/span>	全彩触摸屏控制界靡�/span>
结构材质	聚丙�?NPP-H)材质	聚丙�?NPP-H)材质
旋转速度	1-12000rpm��1rpm steps	1-12000rpm��1rpm steps
旋转精度	��0.1rpm	��0.1rpm
旋转方向	顺时针，逆时针，交换摆动	顺时针，逆时针，交换摆动
加�?减逞�/span>	1-30�?00rpm/� (每步可�?	1-30�?00rpm/� (每步可�?
旋转时间	0.1-99999�?�?/span>	0.1-99999�?�?/span>
基片范围	160mm �?"直径�?"x4"方片	260mm �?"直径戕�/span>6"x6"方片
腔体直径	202mm	302mm
外接控制端口	3�?/span>	3�?/span>
真空开兲�/span>	月�/span>	月�/span>
外形尺寸	27.5x45.0x25.0cm(WxDxH)	380x559x307cm(WxDxH)