CIF紫外臭氧清洗朹�/span>

紫外臭氧清洗机（UVO），是一种简单，经济，快速高效的材料表面清洗设备，能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物、�/span>

CIF紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯，样品台高度可调并可选加热控温，以便达到清洗效果、�/span>

产品特点

u可编程数字控制器，设置操作简单方便，四键操作控制、�/span>

u数字计时显示清洗时间＋�/span>1-999分钟之间可自行设置清洗时闳�/span>、�/span>

u任何时间可以手动中断处理过程、�/span>

u自动记录之前清洗参数设置、�/span>

u样品台可控温（可选），控温范図�/span>RT-260ℂ�/span>＋�/span>控温精度0.1ℂ�/span>、�/span>

u上置式样品台设计＋�/span>360度自由放置样品，操作方便、�/span>

u样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理定位样品高度和位置，位置可锁宙�/span>、�/span>

uUV石英低压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命大约为8000小时、�/span>

u高强�?/span>UV灯源＋�/span>波长185nm�?54nm、�/span>

uUV反射�?/span>（长X宽）毓�/span>UV格栅灯大2.5cm＋�/span>比如规格丹�/span>13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15��15cm、�/span>

u双重安全保护＋�/span>当清洗腔打开时，系统安全锁会关掉UV灯，并有灯光通断提示、�/span>

u带进&出气口双气路设计＋�/span>可接入氧气，增加臭氧产量、�/span>

u可选臭氧中和器，用于臭氧清除、�/span>

u可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔、�/span>

技术参�?/span>

产品型号	UV灯尺寸cm	样品台高度cm	主机重量kg	外型尺寸（LxWxH）cm
UVO5/UVO5P/UVO5T	13x13	10cm内可谂�/span>	6	31x26x20
UVO9/UVO9P/UVO9T	23x23	10cm内可谂�/span>	12.5	60x50x20

注：UVO型基础型样品台不带加热功能，样品台高度不可谂�/span>：�/span>UVOP可逈�/span>酌�/span>样品台加热功胼�/span>，样品台高度可调：�/span>UVOT标配样品台加热功胼�/span>，样品台高度可调、�/span>