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Filmetrics F54 光学膜厚测量仪测厚仪
Filmetrics 薄膜测厚 F54薄膜测厚?/p>
Filmetrics 薄膜测厚 F54薄膜测厚优势
桌面型膜厚测量仪的全?**
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自动化薄膜厚度分布图案系绞/p>
依靠 F54 先进的光谱测量系统,可以很简单快速地获得**直径 450 毫米的样品薄膜的厚度分布图。采 r-极坐标移动平台,可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度,浊span>试非常快速,大约每秒能测试两点 系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式,也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式、/p>
可测样品膜层
基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括:
相关应用
半导体制速/p>
光刻氧化?氮化?SOI晶圆研磨减薄/封装
液晶显示?/p>
盒厚聚酰亚胺ITO
光学镀
硬涂抗反射涂滤光牆/p>
微电孏/p>
光刻硅膜氧化?氧化锌薄膜滤镛/span>
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