Film Sense FS-1?多波长椭偏仪

型号９�span>Film Sense FS-1?

Film Sense FS-1?多波长椭偏仪采用寿命镾�span> LED光源和非移动 式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和� 靠地薄膜测量。大多数厚度0�?000 nm的透明薄膜只需要简单的1秒测量，� 可以获得非常精密和准确的数据、�/p>

Film Sense FS-1?多波长椭偏仪采用寿命镾�span> LED光源和非移动 式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和� 靠地薄膜测量、�/span>

大多数厚�?span> 0‒�span>1000 nm的透明薄膜只需要简单的1秒测量，� 可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学� 数和其他薄膜特性、�/span>

Film Sense FS-1?多波长椭偏仪这款功能强大皃�strong>多波长椭偏仪，售价只是单一波长椭偏�?/span>

和光谱椭偏仪的中等水平、�span>FS-1可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领埞�/span>

主要特点

n4�?span> LED光源：蓝色（465nm），绿色＇�span>525nm）， 黄色＇�span>580nm），红色＇�span>635nm（�/p>

n椭偏仪探测器中无可移动部仵�/p>

n**的膜厚精密性，大多数样品精密度优于0.001nm＇�span>1秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm

n集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带 浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平 板电脐�/p>

优势

n寿命长（长达50�?00小时），更换LED灯便宜，校准� 间短或无需PM程序

n快速测量（10ms内获得多波长数据）和长期性能稳定

n测量精确，只有椭偏仪可以实现

n软件设置和维护简協�/p>

标准FS-1配置

n65��入射觑�/p>

n手动放置样品和调节高�?/p>

n样品尺寸zui大直徃�span> 200mm和厚�?span> 23mm

n样品偏转范围+/-20

n样品上光束尺寷�span> 5 x 12 mm

n结构紧凑(180 x 400 mm)和轻�?span>(4.8 kg)

性能

FS-1多波长椭偏仪擅长测量膜厚范围0-1000nm的透明单一� 膜的厚度和折射率。下表列出的是针对各种不同样品，包括� 层膜样品＋�span>FS-1获得的标准测量精密度和准确性数据、�/p>

应用领域

n半导体行业：二氧化硅和氮化物，高介电和低介电 材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻胶

n光学薄膜行业：高和低指数薄膜，如SiO2� TiO2� Ta2O5� MgF2筈�/p>

n显示屏行业：TCO（如ITO），非晶硅薄膜，有机� 膜（OLED技术）

n数据存储行业：宝石，如碳膛�/p>

n工艺研发：原位表征薄膜沉积（速率和光学常数）VS工艺条件，可兼容MBE� MOCVD� ALD和磁控溅� 等设夆�/p>

n化学和生物：在液体细胞实验中探测亚单原子层材 料吸陃�/p>

n工业：在线监测和控制膜厚

In Situ在线测量功能

n亚单原子膜厚精密�?/p>

n多工艺条件下测定薄膜光学常数n&k和沉积速率，不 会破坏真穹�/p>

n监测和控制多层膜结构沉积

nFS-API界面，外置软件控制（兼容LabVIEW?（�/p>

n兼容大多数薄膜沉积技术：磁控溅射＋�span>ALD＋�span>MBE＋�span>MOCVD，电子束蒸发筈�/p>

In Situ在线测量

产品包括FS-1?多波长椭偏仪，带紧凑自动mapping样品 台，可以实现快速，准确和可靠的薄膜均匀性测量、�/p>

特点和参�?/p>

n4段波长的椭偏数据＇�span>465� 525� 580� 635 nm），寿命� 皃�span> LED光源，探测器内无可移动部仵�/p>

n可对0-1000nm透明薄膜进行准确的厚度测野�/p>

n标准浓厚重复�?span> 0.015 nm

n集成聚焦探针，标准光斑尺寷�span> 0.8 x 1.9 mm（其他尺� 可选）

n电动Z轴样品台自动准直

n灵活扫描图案编辑�?/p>

n测量参数等值线绘制

聚焦光束选件

样品上光束尺寸减小到0.8 x 1.9 mm戕�span> 0.3 x 0.7 mm

聚焦光束检浊�/p>

聚焦光束检测系统包括一�?span> FS-1多波长椭偏仪，带光束聚焦光学器件和一个手动位移台。该系统 非常适合用于手动检测和在图案化半导体晶圆上 进行质量控制测量、�/p>

可进行科研测量，带小尺寸光斑和相机成像功胼�/p>

手动位移台，可容纲�span> 4‘�/span>＋�span>5‘�/span>＋�span>6‘�/span>晶圆

样品上光束尺寷�span> 0.3 x 0.7 mm

样品上光束位置视频图僎�/p>

FS-XY150

n标准晶圆map时间９�span>60s＇�span>150mm晶圆上取49个点（�/p>

n结构紧凑９�span>600x600 mm� 16 kg

n样品台行程（X，Y）：150 x 150 mm�精度９�span>5 ��m

FS-RT300

n标准晶圆map时间９�span>90s＇�span>300mm晶圆上取49个点（�/p>

n结构紧凑９�span>400x500 mm� 22 kg

n样品台行程：R (线�?span>)９�span>150 mm�精度９�span>12 ��m

n角度（旋转）360��，精度：0.1��