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Zeta-388 白光共聚?/span>
Zeta-388支持3D量测和成像功能,并提供整合隔离工作台和晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送系统,可实现全自动测量。该系统采用ZDot?技术,可同时采集高分辨玆/span>3D数据咋/span>True Color(真彩)无限远焦点图像、/span>Zeta-388具备Multi-Mode(多模式)光学系统、简单易用的软件、低拥有成本,以叉/span>SECS / GEM通信,适用于研发及生产环境、/span>
Zeta-388光学轮廓仪是一种非接触弎/span>3D表面形貌测量系统、/span> Zeta-388继承亅/span>Zeta-300的功能,并增加了晶圆盒至晶圆盒机械臂,可实现全自动测量。该系统采用获得**皃/span>ZDot?技术和Multi-Mode (多模弎/span>)光学系统,可以对各种不同的样品进行测量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理,以及纳米至毫米级别的台阶高度、/span>
Zeta-388的配置灵活并易于使用,并集合了六种不同的光学量测技术、/span>ZDot?测量模式可同时收集高分辨玆/span>3D扫描咋/span>True Color无限远焦距图像。其仕/span>3D测量技术包括白光干涉测量?/span>Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量、/span>ZDot或集成宽带反射计都可以对薄膜厚度进行测量、/span>Zeta-388也是一款高端显微镜,可用于样品检查或自动缺陷检测、/span>Zeta-388通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能,以及晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送,适用于研发及生产环境、/span>
采用ZDot咋/span>Multi-Mode(多模式)光学器件的简单易用的光学轮廓仪,具有广泛的应?/span>
可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜
ZDot:同时采集高分辨玆/span>3D数据咋/span>True Color(真彩)无限远焦点图僎/span>
ZXI:白光干涉测量技术,适用亍/span>z向分辨率高的广域测量
ZIC:干涉对比度,适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据
ZSI:剪切干涉测量技术提侚/span>z向高分辨率图僎/span>
ZFT:使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射玆/span>
AOI:自动光学检测,并对样品上的缺陷进行量化
生产能力:通过测序和图案识别实现全自动测量
晶圆传送机械臂: 自动加载直径丹/span>50mm臲/span>200mm的不透明(如硅)和透明(如蓝宝石)样品
台阶高度:纳米到毫米级别皃/span>3D台阶高度
纹理:平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度
外形9/span>3D翘曲和形犵/span>
应力9/span>2D薄膜应力
薄膜厚度9/span>30nm?/span>100m透明薄膜厚度
缺陷检测:捕获大于1m的缺陶/span>
缺陷复检:采?/span>KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置
暂无数据