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| 货号９/td> | 108auto |
| 供应商： | 广州科适特科学仪器有限公司 |
| 现货状态： | 1个月 |
| 保修期： | 1平/td> |
| 数量９/td> | 不限 |
特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜，同时又用于扫描电镜能谱分析、/p>
主要特?/strong>
l通过1个真空泵相连，在既可以保证良好镀金镀碳效果的同时，又不会产生碳和金属的任何交叉污柒/strong>、/span>
l通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损、/span>
l数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率?*的镀膜效果、/span>
可使用多种金属靶材：Pt＋/span>Au/Pd＋/span>Au＋/span>Pt/Pd＇/span>Pt靶为标配），靶材更换快速方便、/span>
l通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程、/span>
l独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状、/span>
l使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果、/span>
l使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作、/span>
l自动模式下，蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下，独特的设计允许以脉冲或连续的方式操作，并通过旋钮控制输出电压、/span>
技术参?/strong>
镀金系绞/span> |
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样品室大導/span> |
直径120mmx 120mm髗/span> |
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靶材 |
Au靶为标配＋/span>Au:Pd Pt Pt:Pd（选件（/span>;大小：直徃/span>57mmx 0.1mm厙/span> |
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样品?/span> |
可以装载12?/span>SEM样品座，高度可调范围丹/span>60mm 可选配旋转倾斜样品台，旋转速度９/span>0~120rpm可调，倾斜角度９/span>0~90可调。旋转样品台具有单独腔体保护，可防污染、/span> |
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溅射控制 |
微处理器控制，安全互锁，可调?*电流40mA，程序化数字控制 |
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溅射夳/span> |
低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
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模拟计量 |
真空９/span>Atm - 0.001mbar 电流９/span>0–/span>50mA |
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厚度监控 (选件) |
使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使?/span>MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过稊/span> |
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控制方法 |
自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0，/span>300s），自动放气 |
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桌上系统 |
真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统 |
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镀碳系绞/span> |
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样品室大導/span> |
直径120 x 120mm髗/span> |
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蒸发溏/span> |
Bradley垊/span>(6.15mm rods [1/4"])高强度不锈钢结构 |
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蒸发控制 |
基于微处理器的反馈回路控制，能够进行远程电流/电压感应，基于真空水平变量的安全互锁功能?*电流180A，提供过流保抣/span> |
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样品?/span> |
可装?/span>12个样品座，高度在30mm范围内可谂/span> |
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模拟计量 |
真空: atmos - 0.001mb;电流: 0-200A |
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控制方法 |
自动蒸发控制，使用程序设定的电压和时闳/span> 以脉冲或连续方式进行完全手动控制 数字定时器（0，/span>9.9s（/span> 数字电压设置＇/span>0.1 to 6.0V（/span> |
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真空系统 |
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真空泴/span> |
2级直连式高速真空泵 |
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抽气速率 |
100L/MIN |
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噪音 |
50dB |
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极限真空 |
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暂无数据
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