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台式小型机,PLC人机自动控制,简单易用,适用于实验室及小批量工业生产中材料表面清洗、蚀刻、活化等工艺、/p>
提供三种功能配置9/p>
1. 常规的等离子清洗和等离子刻蚀
2. 反应离子刻蚀(RIE(/p>
3. 可转换结构(包含可以进行各向同性和各向异性的等离子工艺)可拆卸的托盘构造、/p>
等离子刻蚀机技术参数:
设备型号:PE-100
腔体尺寸:长方形腔体,长?05 x深度368 x高度305mm:/p>
腔体材质:T-6铝合金一体成型;
腔体容积?4升;
射频电源?3.56MHz?~300W自动调节:/p>
工作压力范围?-2000 mT:/p>
气体流量控制?-50cc/min带精密针阀:/p>
皮拉尼真空计 0-1Torr:/p>
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