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型号 | CPS-25-CF-HV | CPS-100-CF-77K | CPS-CF | CPS-150-LN2/LHe-HV |
样片尺寸 | 25mm?/span>50mm?/span>100mm | 50mm | 175mm | |
热规栻/span> | 循环制冷机(型号204N),包括冷头,压缩机,制冷机和氦软管 | 液氮或液?/span> | ||
温度范围 | 10K-480K | 77K-480K | 4.5K-480K+/span>6.5K-480K+/span>10K-480K | 5K-480K |
控温精度 | 0.1K | |||
温度偏差 | 100k以下50 mK | - | 250k以下50 mK | |
温度分辨 | 0.001K | - | 0.001K | |
热锚探头和辐射屏蔼/span> | ||||
温控(加热)盗/span> | ||||
夹头和探针臂的温度监?/span> 辐射屏蔽的温度监测是可逈/span> |
型号 | CPS-25-CF-HV | CPS-100-CF-77K | CPS-CF | CPS-150-LN2/LHe-HV | |||||
真空 | 基础压力较好可达1.010-5torr,在室温下用适当的真空泵选择,可以到10-6torr | ||||||||
基础系统 | 包括气体端口和压力释放阀 - | ||||||||
可视窗口 | 可根据客户要求添功/span> 窗口材料:熔融二氧化硅或石英,定制材料和涂层等可逈/span> | ||||||||
光学系统 | 变焦70系统'/span>4UM分辨率)标准+/span>125戕/span>160变焦系统可作为选配件,以及获得更经济的解决方案 | ||||||||
照明系统 | 同轴和环形照昍/span>LED照明 | 同轴LED照明 | 同轴和环形照昍/span>LED照明 | ||||||
快门冷却 | 可选快门冷即/span> | ||||||||
无论是吊杆安装或底座安装都保?/span>XY戕/span>XYZ的精细分辨率 - | |||||||||
摄像夳/span> | 仍/span>1百万像素?/span>1k万像素。包括相机的图像和视频捕捉和尺寸测量能力的软仵/span> | ||||||||
探针 | DC(同轴或三轴(/span> RF (多方吐/span>? | ||||||||
微操佛/span> | 各种分辨率(40 TPI戕/span>3mm的标准,更高的分辨率可与额外费用)和范围'/span>2?#215;1”X0.5‛/span>+/span>4?#215;1“X0.5“/span>戕/span>4“X1.75?#215;0.5‛/span>)可?/span> | - | 各种分辨率(40 TPI戕/span>3mm的标准,更高的分辨率可与额外费用)和范围'/span>2?#215;1”X0.5‛/span>+/span>4?#215;1“X0.5“/span>戕/span>4“X1.75?#215;0.5‛/span>)可?/span> | ||||||
电缆 | - 低温温度 - 兼容同轴电缆 - 低温下兼容三轴电缅/span> - 低温射频电缆 - 低温非磁性射频电缅/span> | -低温温度 - 兼容同轴电缆 - 低温下兼容三轴电缅/span> | - 低温温度 - 兼容同轴电缆 - 低温下兼容三轴电缅/span> - 低温射频电缆 - 低温非磁性射频电缅/span> | ||||||
晶圆卡片 | -接地 -分离 - 同轴 - 三轴 | ||||||||
软件 | 基于LabVIEW的开放源软件 | ||||||||
震动隔离 | 具有空气阻尼系统的隔振台 隔振波纹箠/span> | ||||||||
震动偏差 | 小于1um | 小于30nm | |||||||
选配顸/span> | - | - | 光纤探针 - 定制的高电平到客户的需汁/span> | - |
低温探针台, cryogenic probe station
暂无数据