一�?/span>Tergeo系列等离子清洗机应用

适用于等离子体清洗，蚀刻，表面处理

应用领域

1.医疗器械活化、杀菌和提高涂层附着劚�/span>

2.光刻胶灰化、除渣、硅片清洖�/span>

3. PDMS，微流体，玻片和实验室上的芯牆�/span>

4.用于烃污染去除的SEM / TEM样品清洗

5.引线键合，倒装芯片底部填充，器件封装和解封

6.改善金属与金属或复合材料的结吇�/span>

7.改善塑料、聚合物和复合材料的粘接

二�?/span>Tergeo系列等离子清洗机的特炸�/span>

1�?/span>13.56MHz高频射频发生器；

2�?/span>7英寸触摸屏控制界面，全自动操作；

3、标酌�/span>75W版本，可逈�/span>150W版本：�/span>

4、系统具有双等离子源。浸入式等离子源用于主动表面处理、光刻胶蚀刻。远程式等离子源用于温和的污染清除以及脆弱易损样品的表面活化、�/span>

三、技术参�?/span>

1、控制系绞�/span>

1）操作界面：7英寸电阻触摸屏操作界面，支持多种工作方式、�/span>

2）程序控制：可编程，总共月�/span>20个程序，每个程序月�/span>3个清洁步骤、�/span>

2、反应腔佒�/span>

1）腔体材质：圆柱形石英玻璃舱：�/span>

2）腔体容积：2.6L：�/span>

3）腔体尺寸：内径110毫米，深�?/span>280毫米、�/span>

3、射频电溏�/span>

1）射频频率：13.56MHz：�/span>

2）射频功率：标配0~75W；从0瓦到75瓦之间以1瓦间距连续可调，可逈�/span>0~150W；、�/span>

4、等离子溏�/span>

1）等离子强度探测器实时测量等离子源强度、�/span>

2）外置电极设计，高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染、�/span>

5、气体控刵�/span>

1）气路控制：标配一�?/span>MFC；可选配三路MFC：�/span>

2）质量流量计可以�?/span>0~100sccm之间控制气体流量：�/span>

3）一�?/span>(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体、�/span>