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SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系统是MicroXact的半自动探针台，设计灵活，易于使用，可用于高效设备表征，晶圆级可靠性测试和故障分析。这些半自动探针台系统设计用于支??00mm晶圆的手动和半自动探测、/span>
高分辨率复合显微镜、/span>
偏光显微镜、/span>
广泛的相机选择、/span>
射频可偏置卡盘和屏蔽罩、/span>
抛光镀金可调节真空吸盘、/span>
超完全真空泵、/span>
温度范围丹/span>-65C臲/span>> 400C的热卡盘（也可以使用更高的温度）、/span>
适用于超声波和激光切割的系统、/span>
可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥，用于高分辨率显微镜、/span>
高分辨率复合显微镜、/span>
偏光显微镜、/span>
广泛的相机选择、/span>
射频可偏置卡盘和屏蔽罩、/span>
抛光镀金可调节真空吸盘、/span>
超完全真空泵、/span>
温度范围丹/span>-65C臲/span>> 400C的热卡盘（也可以使用更高的温度）、/span>
适用于超声波和激光切割的系统、/span>
可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥，用于高分辨率显微镜、/span>
| 型号 | SPS-12000-HP | SPS-2800-HP | SPS-2600-HP |
| 晶圆尺寸 | 高达300mm | 高达200mm | 高达100mm |
| 电机类型 | 步进电机 | ||
| XY舞台行程 | 高达300mmx300mm | 高达200mmx200mm | 高达100mmx100mm |
| 馈通终?/span> | BNC＋/span>Triax或香蕉插夳/span> | ||
| 系统尺寸 | 101CM宼/span>x91CM淰/span>x 88CM髗/span> | 122CM宼/span>x122CM淰/span>x 92CM髗/span> | 78CM宼/span>x80CM淰/span>x 58CM髗/span> |
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