M6 Spin Coater可旋涂处理小碎片臲�span>6英寸圆晶圆片，使用无刷直流双向旋转马达控制，转速稳定，控制器可拆卸配合手套箱使用，4.3苰�/span>寸全彩触屏人机界面操作，简单易用。M6 Spin Coater外形美观，结构紧凑，专为实验室，研发和小规模生产部门提供性价比高的匀胶涂覆设备、�span>M6 Spin Coater在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备，纳米薄膜研究等相关领域、�/span>

二、技术参�?/span>

▱�/span>1.保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护（可选择取消）；

2.支持Wafer尺寸９�/span>*小标配为10 mm，可选配�?/span>3mm戕�/span>5mm�?*到直徃�/span>6英寸＇�/span>150mm）的圆片或边镾�/span>5x5英寸＇�/span>125x125mm）的方片，无需更换片托：�/span>

3.设备材质：全部采用易清洁皃�/span>NPP天然聚丙烯材质，环保，抗震，耐腐蚀：�/span>

▱�/span>4.无刷马达：直流双向旋转，正反旋转速度��100~��12000rpm，稳定性能误差��1rpm：�/span>

5.马达安全模式：可设置非真空模式，转逞�/span>3000rpm，加速度500rpm/s：�/span>

6.加速度可控范围９�/span>100-30000RPM/S：�/span>

7.工艺时间：每步可以设宙�/span>45小时，精�?/span>不超迆�/span>0.1秒；

8. PLC控制９�/span>4.3英寸全彩触摸屏高精度PLC可编程的控制器；

9.程序段：可存�?/span>99个程序段，每个程序段可设�?/span>50个不同步骤的速度状态；

10.无油真空泵：220V/50Hz：�/span>真空吸附范围25-28英寸汞柱(~635-711毫米汞柱)可调节；

11.扩展功能：可升级预留端口，可扩展自动滴胶装置、自动去边装置、手动去边等选配项、�/span>

三�?/span>设备性能特点

马达控制９�/span>无刷直流双向旋转：�/span>

智能程控９�/span>控制器可拆卸＋�/span>4.3英寸寸全彩触屏，配有智能触碰笔，按键有提示音，选中功能有颜色区分，适用于手套箱：�/span>

腔体材质：易清洁皃�/span>NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性；

模式切换：可自由切换单步模式、多步模式和曲线分析图；

防止堵胶９�/span>双真空腔设计：�/span>

预留端口：可升级扩展其他多种选配项；

密码功能：设有开机密码和管理员密码，管理员有权限修改核心参数：�/span>

安全报警９�/span>系统盖板嵌锁、真空异常、通气异常、系统进胶、马达转速异常均会报警，通过声音和界面对话框提示：�/span>

气流保护９�/span>旋涂过程中对马达进行气流保护（也可选择取消），易维护，易清洁，大幅提高马达使用寿命：�/span>

四、应用领埞�/span>

?半导体芯片制速�/span>

?钙钛矿太阳能电池制备

?微纳和微流控

?纳米薄膜

?高分子材斘�/span>

?有机光伏

?有机发光二极箠�/span>

?有机场效应晶体管&薄膜晶体箠�/span>

?石墨�?/span>&二维材料