看了M-HP 200 Hotplate加热板的用户又看亅/p>
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介绍9/span>
M-HP 200热板用于烘烤和回火加热晶圆片或基板。该热板适用于直?*丹/span>8英寸的晶圆片?*6英寸 x6英寸的衬底。内置模块可轻松用于湿式工作台。工艺参数(温度,加热时间)可以随时更改 热板温度可在20C咋/span>250C之间调节。可?/span>1?/span>999秒之间设置处理时间、/span>
产品参数9/span>
? 型号9/span>M-HP 200 Hotplate热板
? 处理尺寸:直?*8英寸晶圆牆/span>戕/span>**6 英寸x6英寸基板
? 温度范围9/span>20C臲/span>250C可调
? 功率9/span>600?/span>
? 加热时间9/span>仍/span>1?/span>9999科/span>
? 热板表面安全盖材质:不锈钡/span>
? 不带盖的热板尺寸:约350mm x 350mm x 200mm
? 控制器的尺寸:约135mm x 145mm x 95mm
? 台式柜的尺寸:约 460mm x 360mm x 325mm
? 重量:约200磄/span>
主营产品9/span>
Laurell匀胶机
Harrick等离子清洗机
Thetametrisis膜厚
Microxact探针?/span>
ALD原子层沉积系绞/span>
TRION反应离子刻蚀朹/span>
Uvitron紫外固化箰/span>
NXQ紫外曝光光刻
Novascan紫外臭氧清洗朹/span>
Nilt纳米压印朹/span>
Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加热
Annealsys高温退火炉
Kinematic程序剪切?/span>
Laurell EDC系统,湿站系
Wabash/Carver自动压片朹/span>
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