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远程控制等离子清洗机 型号：EM-KLEEN 用于电子显微镜等分析仪器如SEM?/span>FIB、TEM样品室的清洁、XPS和SIMS?/span>ASE 系统 |
源于劳伦斯伯克利国家重点实验室的SmartCleanTM 技术，设计精巧，智能，功能强大 EM-KLEEN 构成９/span> Pirani压力传感 ：实时监测样品室压力，可以作为安全模式的安全联锁触发器，并未功能计数器加载事仵/span> 自动气体流量控制 ：很容易真空抽到10-7 Torr，自动调节气体流野/span> 等离子强度传感器 ：用户可实时监测等离子强度状?/span> 温度传感 : 提供联锁保护，防止长时间工作电源工作温度过高 冷却风扇 ：大功率风冷冷却，而不会导致电源过?/span> 液晶触摸屏控制器 ：嵌入式微处理器，串联工作，自动控制系统，并为客户提供保抣/span> |
如何在真空环境中清除碳氢化合物污染物＞/span> 应用领域 |
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SEM腔体清洗10分钟前后的变化对毓/span> |
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6分钟快速去除碳标记 |
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