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AS-One系统有两种型号：AS-One 100系统戕span>AS-One 150系统
?strong>快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的＋span>高可靠且性价比高、/span>
该工艺室采用贝壳式设计，可完全进入底板，方便装载和卸载基板，并允许实际清洁腔佒/span>
快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制、/span>
| 特征９/span> | |
| 基本尺寸９/td> | Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
| 工艺腔体 | 运用不锈钢冷腔室壁技?/td> |
| 温度范围 | 标准配置?*达到1250C 高温配置?*达到1450C |
| 温度控制 | 标准配置：热电偶和高温计用来测量温度 快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制 |
| 真空和气佒/td> | *多可?路带MFC的工艺气体，一路清洁气佒/td> |
| 电脑控制 | 全PC电脑控制，每个配??00步骤 全数据记录与处理历史的人机界面设讠/p> |
| 选项９/td> | |
石墨托盘/碳化硅涂层托?粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系?其他套件 |
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| 应用９/td> | |
快速热退?/p>
快速热氧化
扩散/接触时退?/p>
化合物退?/p>
结晶或致密化
我公司专业销?/span>Annealsys产品，并提供Annealsys产品的售前售后服务，如您寸/span>Annealsys产品感兴趣，欢迎前来咨询?/span>
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