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立陶宛Workshop of Photonics公司?003年进入飞秒激光微加工领域,成为全?*的飞秒激光微加工设备以及解决方案提供商、/span>
WOP主要业务包括:飞秒激光微加工可行性分析,定制飞秒激光系统和光学组件,激光微加工车间,激光微加工自动化软件,定制激光系统和设备控制电路、/span>
飞秒激光加工系 FemtoFAB
FemtoFAB是一款工业用飞秒激光微加工设备。配置选定后,根据客户特定激光加工应用调试,包括对任何材料激光切割,激光划片,激光钻孔,3D激光铣削(使用的激光峰值功玆2.4GW)。系统使用Class 1激光安全防护罩,通过单个SCA工程软件窗口控制、/span>
FemtoFAB提供激光同步移动控制和/或集成扫描振镜系统控制,对不同工业微加工应用,提?*的速度和精度参数。产品在立陶宛设计和装配、/span>
产品特点9/span>
◎/span>高加工速度?*350000px/s
◎/span>加工不同物体亚微米分辨率
◎/span>飞秒加工模式具有*小热影响匹/span>
◎/span>直驱亚微米精度位移台
◎/span>使用高性能扫描振镜精细激光束控制
◎/span>点数控制(单点到350KHz(/span>
◎/span>激光脉冲和移动物体在空间和时间上同?/span>
◎/span>原版软件界面控制所有集成的硬件设备
产品应用9/span>
◎/span>微光?/span>
◎/span>光伏产业
◎/span>多光子聚吇/span>
◎/span>生物医学技术传感器
◎/span>其他精细微加工任加/span>
样品特?/span>
材料 |
固体材料,液态聚合物 |
尺寸(mm(/span> |
150150150 |
光束成型和控刵/span> |
|
脉冲选择 |
集成、自动控刵/span> |
扫描振镜 |
10m/s扫描速度?5 |
聚焦 |
高NA非球面镜或物镜,焦长1.45-18.4mm |
SLM(选配(/span> |
19201080?5.36mm8.64mm?6bit,反射式 |
位置 |
|
类型 |
XYZ,线性电机,交叉定位,空气轴承(选配(/span> |
加工速度 |
350mm/s |
工作区域(mm(/span> |
160160 |
分辨率(nm(/span> |
1 |
位置精度(nm(/span> |
300 |
重复性(nm(/span> |
50 |
稳定度(nm(/span> |
3 |
样品支架 |
真空夹头 |
激光参?/span> |
|
激光介?/span> |
Yb:KGW |
波长 |
10285nm |
功率(W(/span> |
4???0选配(/span> |
振荡器输出功率(W(/span> |
0.7-1.5 |
脉冲能量(mJ(/span> |
1 |
重频(KHz(/span> |
200?00?000选配(/span> |
脉宽 |
<200fs-10ps(可调):80fs(振荡器(/span> |
光束质量 |
M2<1.2 |
输出脉冲稳定?/span> |
<1%RMS |
谐波产生?/span> |
|
谐波 |
SH?15nm),TH?43nm)选配,FH?58nm)选配 |
转换效率(@200KHz(/span> |
>50%(SH),>30%(TH)选配+10%(FH)选配 |
谐波产生?/span> |
|
功率控制 |
激光输出,电动衰减?/span> |
位移台控刵/span> |
2.5D微加工,3D XYZ指令 |
控制界面 |
算法窗口,虚拟或GUI操纵杅/span> |
图形或矢量格弎/span> |
.bmp?plt |
暂无数据