看了海洋光学椭偏仪的用户又看亅/p>
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椭偏?/span>
SpecEL-2000是一款操作便捷的台式光谱椭偏仪,主要用于测量平整和半透明的样品,例如硅晶圆片和玻璃片等薄膜
椭圆偏光技术是一种非接触式、非破坏性,以光学技术测量表面薄膜特性的方法。其检测原理是:当一束偏振光经过物体表面或界面时,其偏振极化状态会被改变。而椭偏仪就是通过探测样品表面的反射光,来测量此改变(即反射光和入射光的振幅及相位的改变量),以决定表面特性薄膜的光学常数(n、k值)及膜厚
SpecEL-2000测试系统主要包括:宽带光源、高性能线阵CCD光谱仪、导光器件、起偏器、样品测试台、检偏器、光学增强元件及测量分析软件
SpecEL-2000适合于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构特性,通常应用于有薄膜存在的地方,其应用包括光学镀膜和保护膜、聚合物、光刻材料、平面平板显示、计算机读写头以及半导体集成电路制造的研究开发。另外,在生物、医学、化学、电化学及材料研究等方面有着广泛的应用、/span>
SpecEL椭偏仪基本性能9/span>
◎/span>基本型号:SpecEI-2000-UV/VIS/NIR & SpecEI-2000-VIS/NIR
◎/span>光谱范围?90-1050nm (UV/VIS/NR) & 400-1000nm (VIS/NIR)
◎/span>测量范围?nm~10m
◎/span>膜厚分辨率:0.1nm
◎/span>测量时间?~13s
◎/span>测量膜层?2屁/span>
◎/span>光束直径?001200m (Smaller spots available)
◎/span>入射角度?00 (other angles available)
◎/span>样品调整:高?#177;1mm;倾斜10
◎/span>测量指标:光学常?n&k)及膜厙/span>
◎/span>快速响应:在线测量
◎/span>基底材料:硅晶片和玻璃片筈/span>
◎/span>数学模型:折射率/谐振?柯西/塞耳迈耶尔/麦克斯韦-加尼特等数学模型
◎/span>应用场合:光学镀?保护?聚合?光刻材料/平面平板显示/导体集成电路
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