AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配夆�/span>4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析、�/span>

特点

1.自动化功胼�/span>

高度集成自动化功能追求高效率检浊�/span>

降低检测中的人为操作误�?/span>?

4英寸自动马达�?/span>

自动更换悬臂功能

2.可靠�?/span>

排除机械原因造成的误�?/span>

大范围水平扫揎�/span>

采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果、�/span>AFM5500M搭载�?*研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试、�/span>

样品：硅片上的非晶硅薄膜

高精角度测量

普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因、�/span>AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲＇�/span>crosstalk� ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像、�/span>

样品:太阳能电江�/span>(由于其晶体取向具有对称结枃�/span>)

*使用AFM5100N（开环控制）�

3.融合�?/span>

亲密融合其他检测分析方弎�/span>

通过SEM，�/span>AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等、�/span>

SEM-AFM在同一视野观察实例（样品：石墨�?/span>/SiO₂（�/span>

上图�?/span>AFM5500M拍摄的形貌像＇�/span>AFM像）和电位像＇�/span>KFM像）分别咋�/span>SEM图像叠加的应用数据、�/span>

通过分析AFM图像可以判断＋�/span>SEM对比度表征石墨烯层的厚薄�

石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差、�/span>

SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因�

与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中、�/span>