产品功能

对各种产�?span>�?/span>部件和材料表面的平面�?span>�?/span>粗糙�?span>�?/span>波纹�?span>�?/span>共面�?span>�?/span>面形轮廓�?/span>表面缺陷�?/span>磨损惄�span>冴�/span>� 腐蚀惄�/span>冴�span>、孔隙间隘�/span>�?span>台阶高度�?/span>蚀刻情况�?span>�?/span>曱�span>变形情况�?/span>功�span>工情况�?span>杏�/span>斘�span>支撑率等�?/span>靡�span>形貌特征进行 测量和分枏�span>、�/span>被测物体的尺寸通常不大�150*100mm＋�/span>曳�/span>大尺寸的测量系统可以定做：�/span>工作�?*承载� �40Kg、�/span>

产品广泛应用于汽车工丙�span>�?/span>航空航天�?/span>造纸工业�?/span>钢铁工业�?/span>薄膜加工�?/span>半导体加�?span>�?/span>MEMS筈�/span>衋�span>业、�/span>

应用范围

*机械密封的平面度和粗糙度测量：�/span>

*电子元件表面的平面度、翘曲度和粗糙度测量分析：�/span>

*BGA焊料球的共面性、封装是否变形以及所有的焊料球是否都存在的检查分析；

*造纸行业对纸张表面的纹理分析：�/span>

*膜片的厚度及涂层的高度测量等：�/span>

*化学蚀刻产品的蚀刻深度和面积测量：�/span>

*压花材料表面特征分析，如合成材料人造皮革表面形貌测量分析；

*丝印装置涂层厚度测量，如电子产品和生物医疗器械等：�/span>

*轧制铝膜和钢板表面情况进行三维分析；

*法医学上三维表面形貌测量分析：�/span>

*压电陶瓷部件的轮廓和表面形貌特征测量分析：�/span>

*牙齿的腐蚀和磨损情况分析；

*医学上如人造皮肤的轮廓分析：�/span>

*沟槽深度和截面计算分析；

*激光蚀刻表面的雕刻深度测量：�/span>

*各种柔软材料、易腐蚀材料、传统接触方式无法检测的产品的表面形态测量和分析：�/span>

*其他各种小型部件的平面度、粗糙度、波纹度和轮廓测量分析、�/span>

技�?/span>规范

扫描仪大尺寸（长*宼�/span>*高）	740*542*＇�/span>780-835（�/span>mm
扫描�?*重量	40Kg
电控部分尺寸	570*700*750mm
电控部分重量	40Kg
计算机显示器	15� LED显示�?/span>
照明与定位摄像头（可选）	14� CRT
扫面平台尺寸	380*280mm
X�Y轴行稊�/span>	150mm*100mm
Z轴行稊�/span>	100mm
电源	220 - 240VAC� 50/60Hz
使用环境	10-35ℂ�/span>
X�Y轴扫揎�/span>�?小间隔距禺�/span>	1��m
X�Y轴扫揎�/span>�?，大间隔距离	9.999mm
标准配置扫描样品**重量	6Kg
数据采集**速度（取决于传感器及设定（�/span>	20000炸�/span>/科�/span>
**扫描速度（取决于传感器及设定（�/span>	80mm/科�/span>
回程速度	100mm/科�/span>
**扫描点数	576万点

传感�?span>逈�/span>型方桇�/span>

传感�?/span> 型号	垂直 测量范围	物镜测量距离 mm	分辨玆�/span>	线性度 ＇�/span>%+/-量程（�/span>	技�?/span> 原理
S3/011	110��m	3.3	5nm	0.1	白光色差技�?/span>
S11/03	300��m	11	12nm	0.1	白光色差技�?/span>
S13/1.1	1.1 mm	12.7	25nm	0.1	白光色差技�?/span>
S16/2.5	2.5mm	16.4	75nm	0.1	白光色差技�?/span>
S29/10	10mm	29	280nm	0.1	白光色差技�?/span>
S20/20	20mm	19.6	600nm	0.1	白光色差技�?/span>
L25/2H	2mm	25	0.1��m	0.05	三角测量技�?/span>
L35/10H	10 mm	35	0.5��m	0.03	三角测量技�?/span>
L50/20H	20 mm	50	1��m	0.03	三角测量技�?/span>
L70/50H	50 mm	70	2.5��m	0.03	三角测量技�?/span>