参考价栻/p>面议
型号
品牌
产地
日本样本
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PR500/510等离子灰化机
高频输出 50~500W,反应腔 215305mm
低温等离?#183;经典桶型
PR500:手动控 PR510:自动触摸屏控制
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备、/span>
用
去除光刻胵/span>
部品清洗
界面活性处琅/span>
微研?/span>
硅晶圆,玻璃基板对应
特征
大口径(215mm)石英反应腔
小型一体化设计
操作简单的触摸屏方式(PR510型)
规格
型号 |
PR500 |
PR510 |
|
模式 |
DP模式,桶垊/span> |
||
控制?/span> |
高频输出功率 |
Max500W |
|
频率 |
13.56MHz |
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同调方式 |
自动协调 |
||
反应?/span> |
反应腓/span> |
石英 215305mm |
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反应气体 |
2系统(O2/CF4(/span> |
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控制 |
手动 |
触摸屏自动控刵/span> |
|
配管材质 |
不锈钢、特氟龙 |
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外形尺寸 |
W438D520H760mm |
参照规格?/span> |
|
重量 |
?0kg |
参照规格?/span> |
|
电源 |
单相AC100V 9A |
三相AC200V 8A |
暂无数据