从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗朹�/strong>

用逓�/p>

� 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。� 过氧化反应，在表面生�?OH，＞C=O�?COOH等官� 基（微量的水分及二氧化碳影响）� 同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，� �?NH 2等官能基、�/p>

� 硅晶圆蚀刻、�/p>

� 材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、陶瓷等）、�/p>

� 石棉预处理（膜过滤灰化）、�/p>

� 从电子设备到生化市场、�/p>

� 低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）、�/p>

� 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片、�/p>

� 表面有机物去陣�/p>

特点

� RF�?00 W的高性能输出类型（PR200）、�/p>

� 由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装、�/p>

� 同步，自动调谐，操作简单（PR200）、�/p>

� 等离子体反应器（灰化设备）（PR200）、�/p>

� 同步、自动调谐（PR200）、�/p>

反应腓�/p>

［例］石棉分析前处理

规格

型号		PR200	PR300	PR301
模式		DP模式，桶垊�/span>
控制�?/span>	高频输出	Max300W
	频率	13.56MHz
	同调方式	手动2轴同调方弎�/span>
反应�?/span>	反应腓�/span>	耐热玻璃 ��100��160mm	超硬质玻� ��64��160mm��3宣�/span>	耐热玻璃 ��118��160mm
	反应气体	1系统（氧气）流量讠�/span>
	控制	手动密闭阀	自动减压、自动密闭阀
	配管材质	不锈钢、特氟龙、铜、铜合金		不锈钢、特氟龙
外形尺寸		W350��D400��H500mm	W438��D520��H556mm	W438��D520��H630mm
重量		�?0kg	�?6kg	�?4kg
电源		AC100V 15A	AC100V 7A