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13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIEDP双模弎/strong>
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应 多种用途、/p>
特征
可变更电极构造提高等离子效果、/p>
搭载高精度适配器，高性能RF 电源、/p>
可根据需求规格提供定制、/p>
用逓/p>
硅晶圆的灰化及蚀刺/p>
基板表面污垢处理
IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
半导体相关部品的电子材料的干式清洖/p>
自然氧化?#183;有机物去陣/p>
界面活性处琅/p>
表面污染物去陣/p>
内槽
规格
| 型号 | V1000 | V1000X | V1000XS |
| 等离子模弎/span> | DP/RIE | ||
| 高频电源 | 13.56MHz | ||
| 输出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
| 有效电极尺寸 | W280D280mm | W300D300mm | W400D375mm |
| 电极 | 平行平板 | 2段电极（独立（/span> | 平板（多目的（/span> |
| 反应气体 | 聚合控制?系统（填充气路另行安装） | ||
| 真空泵（标配（/span> | ?000L/min | ?500L/min | 1000 & 1500L/min |
| 安全装置 | 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器筈/span> | ||
管路连接国/strong>
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移动?/p>
工商已核宝/p>
