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样品传输系统为模块式，便于组吇/strong>
用逓/p>
提高各种材料的粘接性、表面改质处琅/p>
清洗各类基板、/p>
电子部品、材料表面改质、/p>
去除有机物和自然氧化膜、/p>
特点
体积小，节省空间、/p>
选用小型腔体，反应效率高、/p>
更容易嵌入生产线使用、/p>
可通过操作面板自由切换等离子模式、/p>
配备冷却反应台、/p>
内槽
技术规栻/strong>
型号 |
YSP600U |
YSP2KU |
模式 |
RIE（DP模式选购（/span> |
|
高频输功玆/span> |
600W |
2000W |
反应台尺寷/span> |
W300D300mm |
W600D600mm |
反应气体 |
2进气系统（氧气、氩气） |
|
反应气体流量控制 |
质量流量控制?/span> |
|
气体导入叢/span> |
反应气体2个、填充气?个、空??/span> |
|
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
