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半导体产业蚀刻清洗专用的聚氯乙烯制通风柛/p>
特点
?可以在通风柜下台装入恒温水循环装置进行使用、/p>
?内、外装都是使用硬质聚氯乙烯，*适合使用酸、碱等的蚀刻清洗、/p>
?通过采用阻流板可以很好的排出比重较大的气体、/p>
共通规
内外裄/span> |
硬质聚氯乙烯材料 5mm厙/span> |
操作台面（选定（/span> |
硬质聚氯乙烯材料 5mm厙/span> |
?/span> |
透明聚氯乙烯材料 5mm厙/span> |
水栓 |
120型：2个（自来水、纯水用?个） 150/180型：4个（自来水、纯水用?个） |
插座 |
AC220V 10A??/span> |
荧光?/span> |
120/150?0W?80?0W各一?/span> |
规格
型号 |
FHV-120 |
FHV-150 |
FHV-180 |
|
外形尺寸 |
?#215;髗/span> |
7501850mm |
||
宼/span> |
1200mm |
1500mm |
1800mm |
|
重量 |
?00kg |
?30kg |
?50kg |
|
排气风量 |
10m3/min |
13m3/min |
15m3/min |
|
机内静压（推荐值） |
50Pa?mmH2O（/span> |
59Pa?mmH2O（/span> |
40Pa?mmH2O（/span> |
|
机型一览表
无排风机 |
FHV-120 |
FHV-150 |
FHV-180 |
有排风机 |
FHV-120B |
FHV-150B |
FHV-180B |
陶瓷钢板（K（/span> |
FHV-120K |
FHV-150K |
FHV-180K |
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