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日本样本
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用途：光刻工艺后段，光刻胶固化
特点
?**工作温度360℃和600℃、洁净?00级、氧浓度20ppm以下、/p>
?程序运转功能，有自动/手动两种操作模式、/p>
?快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式、/p>
?配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等、/p>
?全不锈钢材质、/p>
?在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置、/p>
技术规栻/strong>
型号 |
洁净厌氧高温气氛C1-008 |
|
温度范围 |
室温+30｝/span>360ℂ/span> |
室温+50｝/span>500 |
温度分布精度 |
4.0℃（at 360℃） |
8.0℃（a500℃） |
温度上升时间 |
60min（室温→360℃） |
90min（室温→500℃） |
温度下降时间 |
90min＇/span>360℃→50℃） |
120min＇/span>500℃→50℃） |
氧浓 |
20ppm以下 |
|
氧浓度下降时闳/span> |
?span>45分钟 |
|
洁净?/span> |
100 |
|
装备 |
氮气导入装置、水冷装置、差压计 |
|
冄/span>尺寸 |
W600D600H600mm |
|
电源 |
3AC380V |
|
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移动?/p>
工商已核宝/p>
