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德国样本
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技术特点▼
l 能够测量小至1mm的晶体到或更大的样品
l 各种样品架及输送夹具,用于线锯、抛光等
l 侧晶方向标记选项
l 无水冷却
l 精度可达0.01(视晶体质量而定)
l 确定单晶的完全晶格取吐/span>
l 使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测野/span>
l 气冷弎/span>X射线管,无需水冷
l 适合于研究和生产质量控制
l 手动操作(没有自动化选项)
晶体的方向是由反射位置决定的
? 立方/任意未知方向:Si Ge GaAs GaP InP
? 立方/特殊取向:Ag Au Ni Pt GaSb InAs InSb AlSb ZnTe CdTe SiC3C PbS PbTe SnTe MgO LiF MgAl2O4 SrTiO3 LaTiO3
? 正方9/span>MgF2 TiO2 SrLaAlO4
? 六方/三角:SiC 2H 4H 6H 15R GaN ZnO LiNbO3 SiO2(石英),Al2O3(蓝宝?,GaPO4 La3Ga5SiO14
? 斜方晶系9/span>Mg2SiO4 NdGaO3
? 可根据客户的要求进一步选料
适合多种材料
SDCOM的应用▼
平面方向的标记和测量
在晶圆片的注入和光刻过程中,需?/span>平面或凹槽作为定位标记、/span>切割过程中,晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此,检?/span>平面或缺口的位置至关重要、/span>
为了确定平面或缺口的位置+/span>就需?/span>测量平面内的部件、/span>由于Omega扫描法可?/span>在一次测量中确定完整的晶体方佌/span>+/span>基于正/span>+/span>侾/span>可以直接识别在平面方向或检查方向的单位或缺口、/span>
DDCOM通过旋转转盘,可以将任何平面方向转换成用户指定的特定位置、/span>在必须定义平面方向的情况下,还/span>可以大大简化将标记应用到特定平面方向的过程、/span>
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