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德国样本
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l 可以集成任何自动化或处理系统专/span>适用亍/span>极端环境(研磨、锯?
l 紧凑、标准的工业接口
l 独立定位测量+/span>?/span>测量平面或圆?/span>
l 光学等级检浊/span>
l 解决了行业难颗/span>:
如果加工设备和定向测量是分开的,那么就会因为样品转移而造成定向误差
市场对于精确对齐的晶圆的需求量越来越大
l 将测量过程整合到工业生产?/span>'/span>研磨或锯分/span>(/span>
技术参数▼
l 可测量材料:硅,碳化硅,砷化镒/span>叉/span>更多
l 样品尺寸:钢锭直徃/span>450毫米
l 冷却:空气,低噪韲/span>
l 可能的用途:在锯/?/span>/干/span>/缺口检测前对大型晶锭进行预对准
硅锭取向:
磨削前对平面和缺口位置的检浊/span>
样品直径可达8 "+/span>长度可达40厘米
无需移动样本即可进行定向+/span>?/span>与打磨产线相结合直接进行在线检浊/span>
可以直接集成?/span>基础机圆磨床72/856三/span>
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