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仪器简介:
K950X高真空蒸镀仪在使用碳棒蒸镀时可给出连续的碳膜,并且使用涡轮分子泵时无污染。它可用于TEM和X-Ray分析中的覆膜,以及SEM中的导电涂层、/p>
在厚度为2nm (20?或更厚时膜是连续的?通常的沉积形式是加热碳或石墨棒。棒具有特定的形状以达到**电流密度,使得它具有足够的温度来引起蒸发。基于这点,出现了细小的、亮的、热的碳颗粒。此系统需要用扩散泵或涡轮分子泵达?x10-4 mbar或更高的真空度、/p>
涡轮分子泵在K950X中作为标准配置,此泵作为机械真空泵的后级泵,真空为全自动控制,真空度优于1x10-5 mbar。可进行预热及除气控制,同时用瞬时蒸发开关使脉冲蒸发在用户控制下进行、/p>
标准的旋转样品台可进行倾斜调节,非常容易适应各种样品座。可选的样品台具有特殊的凹槽,可放置标准的载玻片,这在“石棉分析”需要镀碳层时尤为有利、/p>
碳棒头在仪器中作为标准件。这是一个“快速释放头”,使用户在选择金属蒸发附件、碳丝及光阑清洗头时可方便地更换。放气系统具有互锁装置,避免样品受到干扰。涡轮分子泵可安装在任何轴上,并且可安全地“关闭”直接通大气、/p>
优点
容易操作
均匀的样品涂屁/p>
方便多用户操佛/p>
可用于蒸碳及蒸镀金属
在排气过程中可防止样品损坎/p>
碳棒或碳丝蒸叐/p>
技术参数:
仪器尺寸?50mm W x 350mm D x 175mm H (Overall height with Work Chamber 750mm) 重量?8Kg
工作腔室:硼硅酸盐玻?65mm Dia x 125mm H
安全钟罩:聚碳酸?/p>
铝机座:110mm Dia x 115mm H
源:直径3.2mm碳棒
旋转样品台:直径?0 mm,倾斜0-90o
到电极距离为110mm 130mm
真空计范围:ATM - 1x10-5 mbar
操作真空?x10-2 to 1x10-5 mbar
安培计:0-50 Amps
低电压选择?-5V-15V-25V
除气电流?-25 Amps
涡轮分子泵:50L/Second
Services -Argon - Nominal 4psi. Rotary Backing Pump -Two Stage Vacuum Pump No. 2 35L/Min complete with Vacuum Hose & Oil Mist Filter. 2m3/Hr
电源?30V 50Hz (包括?*电流8 安培)?15V 60Hz(包括?*电流16 安培)
主要特点9/strong>
特点
全自动抽气系绞/p>
旋转样品?/p>
菜单驱动式“用户”键盘输?/p>
快速释放头方便选择不同的头
约束的排气控刵/p>
涡轮分子泵抽真空
暂无数据