三靶大面积溅射系统之旋转机械泵版本，CPU程序全自动控制，触膜屏用户界面，适合不氧化的贵金属如金（Au）、铂（Pt）等靶材镀膜、�/p>

Q300R T镀膜仪是为薄膜应用而设计的多功能离子溅射镀膜仪，也是钨灯丝和场发射电镜观察之大样品制备的理想镀膜仪。为了确保精细沉积，Q300系列镀膜仪设有旋转样品台和三只相同的磁控靶组件，这也将提高采用低电压溅射的工作效率。该系统之旋转机械泵版本Q300R T，适合使用不氧化的贵金属如金（Au）、铂（Pt）等靶材镀膜、�/p>

和极其成功的Q150系列溅射仪、蒸镀仪一样，Q300R T型镀膜仪装在一个符合人机工程学设计的、坚固的整体成型机箱中，并且集成有触摸屏控制，对有经验的熟手�?*次使用的用户都适合的简单操作，从而可提供**的镀膜质量、�/p>

主要特点９�/p>

? Large format chamber.The Q300 RT sputter coaters incorporate a 300mm x 127mm work chamber and the sample stage accepts substrates up to 8� in diameter. An extended height glass chamber is available as an option to enable coating of larger format samples. 大腔室。Q300 RT型溅射镀膜仪设有尺寸�?00mm x 127mm的工作腔室和适用�?*直径�?”样品的样品台。可选配加长高腔室，以便于大且高的样品镀膜、�/p>

? Triple sputter head 三靶大面积溅尃�/p>

? Rotary pump version 旋转机械泵版�?/p>

? Fully automated touch screen control 全自动触摸屏控制

? Coater logging option 镀膜仪日志（选项（�/p>

? Customer defined coating protocols 用户自定义镀膜方桇�/p>

? Film thickness monitor option 膜厚监控（选项），可通过腔室内的晶振片装置测量镀膜厚度，也可预设厚度去控制材料沉积在样品上的膜厚度，达到需要的镀膜厚度时，镀膜仪可自动停止镀膛�/p>

? Vacuum shutdown 真空闭锁功能

? Emergency stop switch 紧急停止开兲�/p>