仪器简介：

K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成，同时两种处理气体流量针阀监控，全部或部分通气口控制、�/p>

它的腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，方便使用、�/p>

真空系统为旋转机械泵或可选用膜片泵作为前级真空的涡轮分子泵、�/p>

在真空装载端口及SEM/TEM中特殊的清洁应用时，可方便更换抽屉式抽拉系统、�/p>

此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀、�/p>

应用９�/p>

� 石棉试样制备

� 有机材料微观灰化

� SEM&TEM中有机样品刻蚀

� 去除光刻胶及电子元件中的包胶

� 塑料品的表面处理

� SEM/TEM中的样品夹清洖�/p>

� 煤的灰化

技术参数：

仪器尺寸�?50mm W x 350mm D x 300mm H 重量�?5Kg

桶形工作腔室：‘Pyrex�?60mm L x 110mm Dia.（硼硅酸盐玻璃作为标准配置）

拉出式抽屉：样品托盘为抽拉式

等离子输出：射频电源-固�?50瓦射频峰值，通常操作范围�?5�?5 � @ 13.56mhz.

(备注：所使用的频率为国际标准组织CISPR认可的“工业”频�?

真空测量范围：完整的操作真空显示的活性计量头ATM - 1x10-5 mbar全刻�?通常操作真空�?.5mbar�?.0mbar

数字计时单元�?9.9小时选择范围时间显示。在灰化过程结束后自动终止、�/p>

双气体流控制：双气体针阀控制，可�?�?或两种气体（校准5� 100cm3/� 空气 @ A.T.P.（�/p>

电源�?30V 50Hz (包括�?*电流5 Amp)�?15V 60Hz(包括�?*电流10 Amp)

Services� Process Gas at nominal 5 psi� (0.33bar)

真空泵：No. 2 � (with a synthetic oil ''Fomblin'' for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr

主要特点９�/strong>

特点９�/p>

� 固态射频发生器及调谐电�?/p>

� 全自动控刵�/p>

� 抽屉式结枃�/p>

� 两种处理气体

� 紧凑的台式系绞�/p>

优点９�/p>

� 低温灰化过程

� 易操佛�/p>

� �?卸样品方侾�/p>

� 可选择不同的混合气佒�/p>

� 节省空间

� 注：我们建议使用No. 2泵，它具有“专用的油”�