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◎/span>SVTSMART＇/span>Scientific Materials and Applied Research Tool）脉冲激光沉积系统具?***的优越性。它可以把激光烧蚀技术和我们所拥有的其他沉积技术（如RF源）集成于一台设备上。可以生长各种可能的材料、/span>
◎/span>配有6个旋转靶台，实现多层薄膜结构生长、/span>
◎/span>可与准分子激光和Yag激光相连、/span>
◎/span>在线监控仪器做为可选件，为客户提供高质量的工艺信息反馈、/span>
◎/span>装载室不但可以装取样品，还可以与其他生长设备或分析设备相连、/span>
应用
◎/span>多元素复合氧化物
◎/span>高温超导材料
◎/span>磁性材料、金属材斘/span>
◎/span>低蒸汽压材料
◎/span>MEMS
基本系统
腔室及真空泵
12’快速门＋/span>250l/s分子泵，全量程规
沉积溏/span>
靶台＋/span>6X1’?25mm)靶，可以水平旋转＋/span>
?/span>Z方向移动
样品?/span>
1’?25mm)大小，可加热臲/span>800oC＇/span>1000oC可选），可水平旋转，可Z方向移动
在线工艺监控
石英晶振沉积速率监控?/span>
自动匕/span>
自动化装置：
控制样品温度和旋?/span>
靶台的位置控刵/span>
靶台旋转
气体控制
速率及厚度计算（利用QCM输出（/span>
激光束扫描（可选）
激光束屏蔽控制
自动泵抽和充氓/span>
差分泵抽结构
RHEED分析（可选）
装载室压强监控（可选）
主要特点
RF射频等离子源(氧，?
升级高真穹/p>
增加进样宣/p>
升级为Laser-MBE （L-MBE）系绞/p>
自动软件控制
提供更洁净的薄膜生长环境，**的温度控制解决方?
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