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SVT HL 系列在坩埚端口有更高的温度。在坩埚口提高温度,以避免材料在蒸发过程中由于坩埚口温度低而凝固。配有单电源、温度控制器和电缆、/span>
SVT CL 系列用于生长铝材料。采用冷口设计阻止铝向坩埚口外蔓延而毁坏源。源接口可以?/span>2.75’‘/span>法兰或更大、/span>
SVT HT 系列蒸发源用于沉积低蒸汽压材料。源的温度可辽/span>2?00 oC。源接口可以?/span>2.75’‘/span>法兰或更大。源在运往客户前都经过全面检测和标征。对亍/span>4.5’‘/span>或更大接口的源,水冷却罩和集成挡板可选、/span>
SVT也提供可用于UHV氨环境下的冷口源。此源在坩埚口带有冷却水。源接口可以?/span>2.75’‘/span>法兰或更大、/span>
对于4.5’‘/span>或更大接口的源,水冷却罩和集成挡板可选、/span>
叶/span> | 法兰尺寸 | 坩埚容量(CC(/span> |
SVTA-SF-16-275 | 2.75’‘/span> | 16 |
SVTA-SF-16-450 | 4.5’‘/span> | 16 |
SVTA-SF-20-275 | 2.75’‘/span> | 20 |
SVTA-SF-20-450 | 4.5’‘/span> | 20 |
SVTA-SF-22-275 | 2.75’‘/span> | 22 |
SVTA-SF-22-450 | 4.5’‘/span> | 22 |
SVTA-SF-40-275 | 2.75’‘/span> | 40 |
SVTA-SF-40-450 | 4.5’‘/span> | 40 |
SVTA-SF-60-450 | 4.5’‘/span> | 60 |
SVTA-SF-80-450 | 4.5’‘/span> | 80 |
温度范围 | 0 oC-1?00 oC |
功率 | 600W?KW |
温度稳定?/span> | +/-0.1oC |
温度重复?/span> | +/-0.1oC |
热偶 | C?D型可逈/span>) |
坩埚容量 | *16cc?0cc?2cc?0cc+/span> 50cc?0cc?5cc+/span> (16cc?2cc锥形壁坩埚均一性更髗/span>) |
标准长度 | *12’?762.5px) |
法兰接口 | 2.75’’或4.5’’OD-CF |
电接插件 | 灯丝:Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亙/span>微型 |
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