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CBr4是很好的III-V材料皃/span>p型掺杂源。在使用MBE技术生镾/span>p型掺杂外延材料中具有很多用途、/span>
SVT公司CBr4模块适用于任佔/span>MBE,具有安全、操作简单等特点、/span>CBr4通过一个压力控制系统被输送到腔室。此压力控制系统可以控制蒸汽压流量。气体控制面板可以精确控刵/span>CBr4气体的流量、/span>
特点
◎/span>适用于任佔/span>MBE
◎/span>高性能的气体入射源
◎/span>先进的气体操作系绞/span>
◎/span>安全,操作简協/span>
部件
气体入射溏/span>
◎/span>带有加热器的入射源(长度可客户定制)
◎/span>温度控制器(可放在电子控制柜中)
◎/span>双接头气体管?/span>
气体操作系统
◎/span>外部手动可调阀?/span>
◎/span>热漏阀和控制器
◎/span>冷阴极真空规以及控制?/span>
可逈/span>
◎/span>气动阀?/span>
◎/span>气动阀门控制器
◎/span>气路烘烤装置
暂无数据