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集中传送室位于各真空室中心，可以实现样品在任意腔室之间传递。样品可以从装载室到各个腔室模块，例如薄膜生长室、金属化室、或样品分析室、/span>SVT可以提高以下2种配置的集中传送室，也可以客户订制、/span>
SVTA-CLM-6
**8''样品
?/span>6?/span>12'' CF法兰端口
6'' CF观察窖/span>
2.75'' CF法兰离子规端叢/span>
SVTA-CLM-4
**5''样品
?/span>4?/span>8''CF法兰端口
4.5''CF观察窖/span>
2.75''CF法兰离子规端叢/span>
暂无数据
美国SVT集中传送室/RDC/Cluster Tool的工作原理介绍？美国SVT集中传送室/RDC/Cluster Tool的使用方法？美国SVT集中传送室/RDC/Cluster Tool多少钱一台？美国SVT集中传送室/RDC/Cluster Tool使用的注意事顸/li>美国SVT集中传送室/RDC/Cluster Tool的说明书有吗＞/li>美国SVT集中传送室/RDC/Cluster Tool的操作规程有吗？美国SVT集中传送室/RDC/Cluster Tool的报价含票含运费吗？美国SVT集中传送室/RDC/Cluster Tool有现货吗＞/li>美国SVT集中传送室/RDC/Cluster Tool包安装吗＞/li>
移动?/p>
工商已核宝/p>
