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生长操作器和制备?/span>UHV兼容。尺寸包?/span>1’‘/span>?/span>8’‘/span>。集成主挡板可选。操作器可以xyz三个方向运动。样品托集成在操作器上。可适用于氨气、氧气等腐蚀性环境、/span>
◎/span>磁耦合旋转
◎/span>旋转精度髗/span>
◎/span>氧环境下兼容可逈/span>
◎/span>氨环境下兼容可逈/span>
◎/span>衬底加热温度可达1?00oC
X-Y方向移动
精度0.001
重复?.001
反冲0
移动行程+/-0.5’‘/span>
Z方向移动
精度1mm 戕/span>1/32比例
重复?mm 戕/span>1/32比例
反冲0
行程4.0’‘/span>
水平旋转
精度1.25o
反冲<1o
持续360o旋转
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
