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SVT线性蒸发源适用于太阳能电池和OLED生产的in-line和roll to roll制程工艺、/span>
线源和体蒸发源相比，蒸发温度更高＇1?00oC）、/span>
线性分布的分流口可使整个衬底长度均匀被覆盖、/span>
**的分流口设计避免了材料飞溅和缺陷生长、/span>
此源还可以通过调节光阑来调?*束流、/span>
特点
分流口式生长提高大面积移动衬底的薄膜均一?/span>
独立的加热区域，便于精确控制
差分喷口可更换，便于调整束流形状
源容量大，适于长期生长
加热温度高，因此沉积速率髗/span>
叶/span> |
沉积宽度 |
容量 |
法兰尺寸 |
SVTA-LES-300 |
300mm |
500cc |
6’?DN100)CF法兰，其他尺寸可逈/span> |
SVTA-LES-600 |
600mm |
1?00cc 2?00cc ??00cc |
10’?DN200)CF法兰，其他尺寸可逈/span> |
SVTA-LES-1200 |
1?00mm |
2?00cc ??00cc |
10’?DN200)CF法兰，其他尺寸可逈/span> |
**体蒸发温 |
1?00oC |
分流?*温度 |
1?00oC |
源温度稳定?/span> |
+/- 0.1oC |
束流稳定 |
<1% |
**操作环境压强 |
5X10-5Torr |
沉积均一?/span> |
+/-4%(源与衬底距离300mm) |
热偶类型 |
C垊/span> (K型可? |
冷却时间 |
100oC<120分钟 |
电接插件 |
灯丝：Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亚微 |
烘烤温度 |
200oC |
冷却水接夳/span> |
2 X1/4’ VCR (一进一? |
**水压 |
80psi |
水流速率 |
500ml/min |
暂无数据
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