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SVT 阀控沉积源可精确控制高蒸汽压材料的束流。其独特地阀门设计，使该源具有很好的工艺重复性以及束流反应即时性。驱动阀门可选，可实现自动工艺控制、/span>
阀控沉积源与束流分流口相连，可以在很大面积的衬底上沉积。分流口光阑可以调节束流形状，是太阳能电池以及OLED沉积工艺?*选择。分流口可与衬底非常接近，因此提高了沉积速率、/span>
增加热激发区域可选，此区域可以提高多原子大分子的活性。热激发的分子降低了材料消耗，提高了材料质量以及S和Se的结合力、/span>
针阀设计可以精确控制高蒸汽压材料的束?/span>
热激发部件可选，可提高材料结合力
可客户定制分流口
源容量大，适于长期生长
是太阳能电池和OLED应用领域?*选择
叶/span> |
野/span> |
兼容的材斘/span> |
SVTA-VC-200 |
200cc |
As，Sb，Se Te，S |
SVTA-VC-500 |
500cc |
As，Sb，Se Te，S |
SVTA-VC-15000 |
15?00cc |
Se＋/span> Te，S |
SVTA-VC-30000 |
30?00cc |
Se＋/span> Te，S |
馈入法兰 |
4.5’?DN63)CF 法兰(其它尺寸可? |
**体蒸发温 |
450oC?00oC除气 |
分流?*温度 |
700oC?00oC除气 |
源温度稳定?/span> |
+/- 0.1oC |
热偶类型 |
K垊/span> |
电接插件 |
大气下的灯丝：Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亙/span>微型 |
烘烤温度 |
200oC |
束流稳定?/span> |
<1%，带有集成束流传感器 |
**操作环境压强 |
1X10-4Torr |
沉积均一?/span> |
+/-6%(源与衬底距离300mm) +/-4%(源与衬底距离200mm) |
加热时间 |
400oC< 60min |
冷却时间 |
100oC<120分钟 |
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