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此在线CL系统是监控MBE生长过程的理想选择、/span>
CL可以放置在独立的观察窗位置、/span>
通过RHEED枪以及敏感的光学探测系统，CL可以实时提供材料组分的准确信息，并进行实时光学分析、/span>
部件?''的前后移动容域度，避免与其他部件相互干扰、/span>
CL通过电子激发技术调节电子能量，可以检测较深的薄膜表面信息、/span>
与其配套皃span>Windows软件操作系统，可以实现操作自动化及图谱分析、/span>
特点
一个端口可以同时监测薄膜成分和光学分析
掺杂水平信息
部件可前后移动，使部件间相互干扰*小化
全电脑控制及分析
光谱范围 |
200-900nm |
分辨玆/span> |
0.5nm |
探测器量子效玆/span> |
25% |
探测器输凹/span> |
10V/nW |
噪音等效 |
<250V |
观察窗口 |
2.75''CF |
外部尺寸 |
9.0''X25.5''X10.1'' (22cm65cm26cm) |
腔室内尺 |
1.25''13.1'' (3.2cm34cm) |
行程距离 |
**8''(20.3cm) |
靶距禺/span> |
2''(5.1cm) |
电脑要求 |
Windows 9X?000，XP |
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