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产品简介:本公司所?/span>靵/span>头适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁?/span>/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靵/span>头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可不/span>DC戕/span>RF电源配合使用、/p>
靶头种类 |
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直、折靵/p> |
方靶 |
自转转靶 |
公、自转转靵/p> |
多弧溅射弧源 |
暂无数据