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产品名称 | VTC-100-SE基本型桌面式喷胶朹/strong> |
主要特点 | 1、可台面式操作,外形尺寸紧凑 2、超声波雾化或二流体雾化喷嘴可逈/span> 3、底盘旋转加热,XY电缸移动式喷胵/span> 4、可处理**基片尺寸?寸晶圆,向下兼容 |
技术参?/span> | 1、热盘温控范围:室温?50℃,温度分辨率:0.1ℂ/span> 2、温度均匀性:小于1%(工作范围内) 3、胶体流速范围:1-20ml/min 4、电缸移动速度?-200?s 5、电缸定位精度:0.02㎛/span> 6、电缸有效行程:300300㎛/span> 7、超声波雾化粒径:小?0m |
产品规格 | 外形尺寸?28(W?#215;800(D?#215;510(H)㎜ |
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