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1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8外炉管直径达?/span>11",内管直徃/span>8.5",在加热管一端装有一对高真空不锈钢法兰,法兰上配有机械压力表和阀门,三个温区都采?/span>30段可编程数字控温器,并配月/span>K型热电偶进行测温,专门针对于在金属箔上生长薄膜物质、/span>
产品型号 | 1100℃双管三温区管式炉(石墨烯生长)GSL-1100X-III-D11-8 |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温?5?#177;15℃,湿度55%Rh10%Rh下使用、/span> 1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) 2、电:AC380V 50Hz?3A空气开关),必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯?9.99%以上),需自备氩气气瓶(自?span>?6mm双卡套接头) 4、工作台:尺?500mm600mm700mm,承?00kg以上 5、通风装置:需?/span> |
主要特点 | 1、双层壳体,配有风冷系统,壳体温?span><70℃。内炉膛采用高纯度氧化铝材料,可?*程度的减少能量的损失、/p> 2、采用不锈钢真空密封法兰,使用硅胶密封圈进行密封、/p> 3、采用三?span>PID控制器,可以设置30段升降温程序、/p> 4、加热前需将石英管堵放入炉管,防止热量以热辐射的形式散失、/p> 5、使用内管进行薄膜生长可放置**8"皃/span>基片、/span> 6、已通过CE认证、/p> |
技术参?/span> | 1、电源:单相AC220V 50Hz/60Hz 8KW(需50A的空气开关) 2、石英管:外管外徃span>?279mm,内徃/span>?269mm,长1300mm,两端打开,可连接法兰 内管外径?216mm,内徃span>?206mm,长750mm,一端封闭,一端连接气体出入口 3、加热元件:NiCrAl电阻东/p> 4、加热区域:镾span>900mm 5、温区:3个,吃span>300mm镾/p> 6、恒温区域:500mm(三个温区设置一样的温度(/p> 7、工作温度:**1100℃(<1h),连续工作200ℂspan>-1000ℂ/p> 8?*升降温速率9span>10ℂspan>/min 9、热电偶9span>3个,K垊/p> 10、控温精度:1ℂ/p> 11、真空度9span>10-2torr(机械泵(/p> 12、法兰:左侧法兰包括化学气相淀积进气口和冷却气体进出口,右侧法兰设月span>KF-40真空接口和真空阀?/p> |
产品规格 | 尺寸:不包含真空法兰1300mm623mm940mm,包含真空法?span>1670mm623mm940mm 重量9span>200kg |
可选配仵/span> | 1?span>石英管堵 2?span>PC控温软件 3?span>KF-40?span>KF-25接头 |
暂无数据