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小型两通道供气系统CGM-2F是一种紧凑型双通道微量气体混合供气系统，输入的两种不同气体通过调节压力和流量，即可输出一种较准确的混合性气体，可用以小型管式炉、手套箱、等离子清洗机、小垊/span>PECVD系统、/span>
产品型号 |
小型两通道供气系统CGM-2F |
主要特点 |
1、采?span>SS304精密不锈钢针阀、/p> 2、采?span>1/4′/span>管径不锈钢或聚四氟乙烯管、/p> 3、无需外接电源、/p> |
技术参?/span> |
1、浮子流量计９span>10-100ml/min，两?/p> 2、压力表９span>-0.1-1.0MPa＇span>0.01MPa/grid），三个 |
产品规格 |
尺寸９span>340mm300mm180mm；重量：6.35kg |
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
