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概述
EXT75DX分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,采用成熟的轴承技术,上轴承为**性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,并采用Holweck拖曳分级技术,可以DC 24V直接驱动,或使用TAG咋/span> TIC控制器,可以并行和串行通信。入口法兰有DN40NW?/span>ISO63?/span>DN63CF戕/span> ISO100可选、/span>
基本的分子泵系统通常田/span>EXT75DX泵?/span>TAG戕/span>TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成、/span>
性能特点
智能控制,功耗低,减少运行成?/span>
不/span>Edwards TIC涡轮与仪表控制器兼容,可以添功/span>1~3真空规而无需额外真空控制器,可以连接冷却风扇和自动放气阀
并行或串行接口:并行模式允许使用传统控制模式;串行模式提侚/span>RS232接口,可以全面控制分子泵状态,并连续监控放气阀设置、运行转速、待机转速、可编程功率设置、功耗、泵/控制器温?/span>
入口配有筛网
上轴承为**性磁悬浮轴承:无需清洁、振动小、磨损低
配有手动放气阀(可选配电磁阀,用于全自动放气(/span>
Holweck拖曳分级技术,实现高吞吐量和高前级压力?/span>
带有吹扫口,提供制程气体稀释,以保护电机和下轴找/span>
技术指栆/span>
入口法兰 | DN63ISO-K?/span>DN63CF?/span>DN40NW?/span>DN100ISO-K | |||||
出口法兰 | KF16 | |||||
押/span> 逞/span> | ISO63/63CF | DN40NW | ISO100 | |||
N2 | 61l/s | 42l/s | 66l/s | |||
He | 57l/s | 49l/s | 59l/s | |||
H2 | 53l/s | 48l/s | 54l/s | |||
厊/span> ?/span> 毓/span> | N2 | >11011 | ||||
He | 1106 | |||||
H2 | 5104 | |||||
极限 真空 | RV泵,ISO/CF | <510-9/<510-10 mbar | ||||
隔膜泵,ISO/CF | <510-8/<510-9 mbar | |||||
推荐前级泴/span>* | RV5/nXDS6i | |||||
放气叢/span>/吹扫叢/span> | 1/8英寸BSP母螺纸/span> | |||||
**连续入口压力(轻质气体)? | ||||||
水冷(水?/span>15C,环境温?/span>40C(/span> | 210-2 mbar | |||||
空冷(环境温?/span>35C(/span> | 110-2 mbar | |||||
泵转逞/span> | ||||||
标称转逞/span> | 90000rpm | |||||
待机转逞/span> | 49500~90000rpm可调 (缺?/span>63000 rpm(/span> | |||||
功率范围 | 50~120W可调 (缺?/span>80W(/span> | |||||
90%转速启动时闳/span> | 110s? | |||||
模拟输出 | 泵转速、功耗、泵温度、控制温?/span> | |||||
冷却方式# | 空冷/水冷 | |||||
空冷环境温度 | 5~35C | |||||
*小水冷流逞/span> '/span>15C的水(/span> | 15l/ h | |||||
水温范围 | 10~20C | |||||
入口法兰**温度 | 100C | |||||
工作姿?/span> | 垂直、水干/span> | |||||
噪声'/span>1m处) | <50dB(A) | |||||
**耐受磁场 | 5mT | |||||
推荐控制?/span> | TIC100涡轮仪表控制?/span> | |||||
稳态功耖/span> | 10W |
*根据应用可使用较小的前级泵,如使用隔膜泵要求极限真空小于 5 mbar,如XDD1、/span>
? 如大于该入口压力,转速会降至标称转速以下、/span>
? 功率丹/span>80 W、/span>
#空冷和水冷却附件须单独订购、/span>
订货信息
货号 | 描述 |
B72241000 | EXT75DX分子泴/span>9/span>DN63ISO-K入口法兰 |
B72242000 | EXT75DX分子泴/span>9/span>DN63CF入口法兰 |
B72243000 | EXT75DX分子泴/span>9/span>DN40NW入口法兰 |
B72245000 | EXT75DX分子泴/span>9/span>DN100 ISOK入口法兰 |
B72246000 | EXT75DX分子泴/span>9/span>DN100 ISOK入口法兰'/span>DN25NW前级泵接口) |
B72235000 | EXT75iDX分子泴/span>9/span>DN40NW入口法兰 |
B72237000 | EXT75iDX分子泴/span>9/span>DN63ISO-K入口法兰 |
B72238000 | EXT75iDX分子泴/span>9/span>DN63ISO-K入口法兰'/span>DN25NW前级泵接口) |
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